威海北洋:谁有wafer transfer 的资料(图片或设计图)

来源:百度文库 编辑:中科新闻网 时间:2024/05/15 16:02:03
Fab中用来传递硅片的简易装置.就是用来把一个cassette的硅片传输到另外一个cassette.

谁有wafer transfer 的资料(图片或设计图)
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Fab中用来传递硅片的简易装置.就是用来把一个cassette的硅片传输到另外一个cassette.